同桌偷偷把手藏在桌下,用手指比了个C。
看到这个手势,吴祖心里翻了个白眼,偷偷给对方竖了个中指。
好家伙,上次考试你就用这招坑我,还想再来?
当我傻?
于是他抬起头,冲着数学老师坦然道:
“老师,不好意思,这道题我不会。”
话音落下,整个教室瞬间安静了下来,几十双眼睛齐刷刷地看向了他。
数学老师推了推鼻梁上滑下来的眼镜,气得一拍讲台。
“我刚刚在黑板上把解题步骤和答案都讲完了,你连选C都记不住?!”
这一刻,吴祖直接僵在了原地,缓缓转过头,一脸错愕地看向同桌。
卧槽?
不是哥们儿,你这次居然来真的?
同桌翻了个白眼,小声吐槽:“让你不信我……”
吴祖正尴尬得无地自容,一抬眼就看到了站在教室窗口的王静雅,她正冲着数学老师笑着挥手。
对此,数学老师甚至没多问一句,只是有些无奈地对着吴祖摆了摆手:
“吴祖,你先出去吧。”
“谢谢老师!”
吴祖如蒙大赦,松了口气,在同学们羡慕的目光里,转身溜出了教室。
“哎呀,还是王老师靠谱,谢谢嫂子解围!”吴祖嬉皮笑脸地凑了上去。
王静雅抬脚在他屁股上轻轻踢了一下,没好气地瞪了他一眼:
“再乱喊,以后我不光不帮你解围,还天天给你加课后辅导!”
她翻了个白眼,直奔正题:“最后一台超高速离心分离机已经送到旧厂区实验室了,李柱正带人卸货验收,让我赶紧过来叫你回去看看。”
“啊?”
“这么快就到了?我还以为要等两三天呢!”
“是啊,特事特办,专门从国外走加急空运调过来的。”
“怎么样,要不要我给你请几天假?”
“嘿嘿,还是王老师懂我!先给我请一个星期吧,等我把这阵子忙完了再回来上课!”
“行吧。”
王静雅无奈点了点头,叮嘱道:“一个星期后有年级统考,你可别忘了。”
“知道知道,保证不耽误!”
吴祖朝着校门口跑去,坐上了停在路边的军用吉普车。
如今的他,是国家重点保护的顶尖科研人员,出门有一个警卫连全程随行保护。
这待遇,不是一般人能享受到的。
在校长羡慕的目光里,吉普车卷起一阵尘土,一路驶向旧厂区。
推开实验室的大门,吴祖一眼就看到了那台崭新的超高速离心机,已经放在了指定角落。
李柱正拿着无尘布,小心翼翼地擦着机身上的浮尘,看到吴祖进来,立刻笑着迎了上来:
“阿祖,你总算来了!设备刚验收完,各项参数都没问题,完美运行!”
“太好了!”
吴祖激动地搓了搓手,转身就去拿挂在一旁的无尘服。
“事不宜迟,咱们现在就开工!”
李柱也不含糊,立刻从旁边拿起无尘服,跟着吴祖往洁净车间走。
光刻胶的制备工艺本就极其复杂,尤其是高端光刻胶,更是直接决定了芯片的良品率和极限性能。
品质越好的光刻胶,图形分辨率就越高,能刻蚀的线宽就越窄,直接决定了芯片的集成度上限。
第203章 光刻胶做出来
除了核心的分辨率,感光敏感度也是关键指标。
它不仅决定了曝光光源的能量利用效率,更直接影响着芯片的量产效率和制造成本。
如今国内的研发团队,还在攻克适配二代光刻机的光刻胶技术。
吴祖现在要制备的,是直接适配第四代浸没式光刻机的高端ArF光刻胶,技术代差足足二十年。
经过风淋、去静电、喷淋等一系列严格的洁净流程,吴祖穿着全套无尘服,走进了百级洁净车间。
前段时间,他已经带着李柱完成了所有前期准备,成膜树脂、光引发剂、单体、助剂等各类反应原料都已制备完成。
剩下最关键的一步,就是用超高速离心机完成高纯度分离提纯,去除所有会影响光刻精度的微量杂质。
他小心翼翼地将预处理好的胶液样品送入离心机腔体,精准设置好转速、温度、时间等各项参数,按下了启动按钮。
轻微的嗡鸣声瞬间在洁净车间响起,离心机开始高速运转。
接下来,吴祖每隔固定时间,就会从离心机里取出微量样品,进行成分和纯度检测,实时调整工艺参数。
李柱寸步不离地跟在旁边,手里拿着个小本子,像个认真听课的小学生,记录着每一个操作步骤、每一项参数细节,生怕漏过一个字。
看着吴祖眼底掩不住的疲惫,还时不时打个哈欠,李柱连忙开口道:
“阿祖,要不这个环节交给我盯着,你去旁边休息室睡一会儿,熬了好几个通宵,身体扛不住的。”
吴祖想了想,没有拒绝,把操作要点和注意事项跟他交代了三遍,这才放心离开了洁净车间。
几天后。
实验室深处的暗红色防爆灯下,吴祖戴着无尘手套,小心翼翼地拧开了一个特制的避光棕色试剂瓶。
瓶内,是均匀透亮的琥珀色粘稠液体,在昏暗的灯光下泛着温润的光泽。
看着瓶中终于制备完成的样品,吴祖的嘴角忍不住向上扬起。
“20nm ArF浸没式光刻胶样品,成了!”
听到这句话,旁边的李柱瞬间激动得差点跳起来。
“阿祖,你太牛了!真的做出来了!这就是你说的能适配第四代光刻机的高端光刻胶?”
“没错。”
吴祖点了点头:“不过现在有个问题,我们没办法对它的性能做完整的定量评估。”
虽然他心里清楚,按照系统给出的成熟技术路线制备的这款光刻胶,性能绝对不会有半分偏差。
但拿不出完整的测试报告,就没办法向外界证明它的真实性能,更没办法实现量产应用。
光刻胶的性能测试,绝不是靠肉眼观察和经验判断就能完成的。
它需要一整套精密且造价昂贵的专业测试设备。
首先需要步进式光刻机完成曝光测试,再用高分辨率扫描电子显微镜,精准测量曝光后图形的分辨率、线边缘粗糙度、侧壁形貌等核心性能参数。
这些设备,单台动辄数千万甚至上亿,几乎全被国外巨头垄断,对龙国实施了最严格的禁运政策。
就算是燕京半导体研究所,手里也只有几台老旧设备,最高测试精度只能到200纳米,根本测不出这款20nm光刻胶的极限性能。
吴祖低头沉思了片刻,眼中很快闪过一丝决断。
“我没记错的话,德国的希曼半导体公司,手里有全套的高端光刻胶测试平台,而且他们近期正好有一批第三方送检样品。”
“李柱哥,你能不能想办法,帮我搞到他们这次的送检名单和排期?”
李柱愣了一下:“这……这种内部送检排期,他们应该不会对外公布的吧?”
“我当然知道他们不会公开,所以才要想办法弄到手。”
李柱看着他眼里的笃定,最终点了点头。
“好!包在我身上,我一定给你弄到手!”
……
云州市,科菲集团龙国分公司,光刻胶材料研究部。
尽管西方各国在半导体领域对龙国筑起严苛的技术封锁线,可诸多外资半导体在华分公司并未撤离,科菲集团便是典型代表。
这家老牌半导体巨头,在龙国的分公司除了光刻胶研发,平日里也承接一些其他高分子材料的测试与改良业务。
罗吉尔皱着眉,扫了一眼眼前拥挤的办公区,心里忍不住翻了个白眼,才不情不愿地走进。
这里的办公隔间比他之前的办公室挤了不止一倍,空气中常年弥漫着化学实验室的试剂气味,混杂着打印机的墨粉味。
史密斯拉过一张桌角掉漆的办公椅坐下,一脸嫌恶扇了扇鼻尖的空气,冲着邻座的同事抱怨道:
“这种鬼地方,你们到底是怎么待下去的?”
听着他的吐槽,同事们只是无奈耸了耸肩,没人接话。
对于这个从总部核心部门经理位置上被贬下来的空降兵,部门里的人都只把他当成了一个跳梁小丑,没人愿意凑上去讨好。
看着众人漠然的反应,罗吉尔心里的火气更盛,却只能憋回去,虎落平阳被犬欺,他早就不是那个前呼后拥的部门经理了。
他悻悻地转回头,看着桌面上堆得乱七八糟、连分类都没做的文件,心里的不爽更是翻了倍。
“带木!”
罗吉尔不耐烦扒拉了一下桌上的文件,然后冲着旁边的人说道:
“就没人过来帮我收拾一下桌面吗?这地方乱得跟垃圾场一样!”
预想中助理或秘书小跑过来的脚步声并没有响起。
回应他的,只有周围此起彼伏的键盘敲击声,以及同事们投过来带着漠然,甚至藏着讥诮的目光。
罗吉尔愣在原地,脸上瞬间闪过一丝难堪。
他才意识到,这里早就不是他那个随时有两名专职助理待命的总经理办公室了。
身份的落差像一盆冰水,兜头浇下,瞬间让他清醒了过来。
他咬着牙,脸色铁青,开始自己动手收拾起桌上的狼藉。
动作间,他故意把文件摔得啪啪作响,用这种方式宣泄着心里的不满。
第204章 潜入科菲公司
这时,部门组长迪特走了过来,将一份文件夹丢在了他刚收拾好的桌面上。
“新来的,质检部刚送过来一批光刻胶样品,需要做抽检和基础性能检测,你负责完成初步检验,出具详细报告,尽快处理。”